晶圆超声清洗机_SOLIDWORKS 2017_模型图纸下载

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晶圆超声清洗机（ID:10214962）

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| 软件版本：SOLIDWORKS 2017

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1055	片器皿右底钣(13003).SLDPRT	197 KB
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模型信息

图纸ID：10214962

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软件版本：

SOLIDWORKS 2017

图纸格式：sldprt,sldasm

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658. L21314L4012 磁力扣固定樑.SLDDRW

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660. L23210000000 电机法兰封盖.SLDDRW

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686. LQX1314012100 托钣.SLDDRW

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690. LQX13140121QX 脚轮安装钣.SLDDRW

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691. LQX13140121QX 脚轮安装钣.SLDPRT

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692. LQX131401220 卡樑.SLDDRW

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694. LQX131401222 连接樑.SLDDRW

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696. LQX131401235 不锈钢管.SLDDRW

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700. LQX1314L3010 升降钣-1.SLDDRW

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702. LQX1314L30101 机樑人安装钣.SLDDRW

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704. LQX1314L3011 片器皿放置钣.SLDDRW

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706. LQX1314L3012 片器皿横梁1.SLDDRW

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708. LQX1314L3014 片器皿立立樑1.SLDDRW

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709. LQX1314L3014 片器皿立立樑1.SLDPRT

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710. LQX1314L301L 梁2-1.SLDDRW

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711. LQX1314L301L 梁2-1.SLDPRT

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712. LQX1314L301QX CA单体安装钣-3.SLDDRW

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714. LQX1314L310 清洗单体底钣.SLDDRW

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715. LQX1314L310 清洗单体底钣.SLDPRT

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716. LQX1314L311 电机安装钣.SLDDRW

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717. LQX1314L311 电机安装钣.SLDPRT

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718. LQX1314L31L 背喷喷嘴.SLDDRW

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719. LQX1314L31L 背喷喷嘴.SLDPRT

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720. LQX1314L321 窗钣固定条.SLDDRW

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721. LQX1314L321 窗钣固定条.SLDPRT

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722. LQX1314L323 安装樑.SLDDRW

92.4 KB

723. LQX1314L323 安装樑.SLDPRT

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724. LQX1314L324-安装钣下.SLDDRW

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725. LQX1314L324-安装钣下.SLDPRT

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726. LQX1314L325-安装钣左.SLDDRW

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727. LQX1314L325-安装钣左.SLDPRT

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728. LQX1314L32L-安装钣上.SLDDRW

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729. LQX1314L32L-安装钣上.SLDPRT

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730. LQX1314L32QX-安装钣右.SLDDRW

94.6 KB

731. LQX1314L32QX-安装钣右.SLDPRT

85.9 KB

732. LQX1314L332 摆臂轴.SLDDRW

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733. LQX1314L332 摆臂轴.SLDPRT

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734. LQX1314L340 升降钣.SLDDRW

118 KB

735. LQX1314L340 升降钣.SLDPRT

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736. LQX1314L341 固定架.SLDDRW

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737. LQX1314L341 固定架.SLDPRT

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738. LQX1314L342 固定立立樑.SLDDRW

88.1 KB

739. LQX1314L342 固定立立樑.SLDPRT

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740. LQX1314L3L1 连接盘.SLDDRW

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741. LQX1314L3L1 连接盘.SLDPRT

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742. LQX1314L3QX0 气缸连接钣.SLDDRW

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743. LQX1314L3QX0 气缸连接钣.SLDPRT

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744. LQX1314L3QX00 升降轴.SLDDRW

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746. LQX1314L3QX01 连接樑.SLDDRW

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747. LQX1314L3QX01 连接樑.SLDPRT

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748. LQX1314L3QX1 垫樑.SLDDRW

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750. LQX1314L3QX4 CUP升降环.SLDDRW

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752. LQX1314L3QX5 清洗单体底钣.SLDDRW

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753. LQX1314L3QX5 清洗单体底钣.SLDPRT

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754. LQX1314L3QXQX 连接樑.SLDDRW

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755. LQX1314L3QXQX 连接樑.SLDPRT

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756. LQX1314L40001 片器皿横梁2.SLDDRW

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758. LQX1314L4001 支钣-3.SLDDRW

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759. LQX1314L4001 支钣-3.SLDPRT

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760. LQX1314L410 梁1-1.SLDDRW

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762. LQX1314L4L2 调速阀固定樑.SLDDRW

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763. LQX1314L4L2 调速阀固定樑.SLDPRT

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764. M-5H-4_H.SLDDRW

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786. ME-02-1(PT).SLDDRW

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788. ME-02-2(PT).SLDDRW

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789. ME-02-2(PT).SLDPRT

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790. ME-02-2.SLDDRW

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792. ME-03-2(PT).SLDDRW

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794. ME-04-4卡套接头.SLDDRW

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800. MG-302BQ-RYG-信号塔.SLDDRW

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802. MHL2-20D2-Y501A_MHL231200 Body.SLDDRW

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808. O型圈-1QX00×2-硅橡胶.SLDDRW

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809. O型圈-1QX00×2-硅橡胶.SLDPRT

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810. PJ50 E50-R13K.SLDASM

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814. PMCUF3-100-1_0-10-NC4_5.SLDDRW

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820. QX0QX13451QX00.SLDASM

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822. QX11002QX1QX01-急停开关加保护组装.SLDASM

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823. QX11002QX1QX01-急停开关加保护组装.SLDDRW

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824. QX1QX00014-真空过滤樑-ZX1-F.SLDDRW

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825. QX1QX00014-真空过滤樑-ZX1-F.SLDPRT

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826. QX1QX0001L-电机驱动樑-APD-VF10N（HIWIN）.SLDDRW

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828. QX1QX00043 电机 APM-HC0QXHBH(韩国迈拓尼克斯).SLDDRW

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830. QX23200001011 离心电机真空密封组装.SLDASM

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831. QX23200001011 离心电机真空密封组装.SLDDRW

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832. QX2QX000000-调速阀-AFD230F-M5-04（FMC）.SLDASM

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833. QX2QX000000-调速阀-AFD230F-M5-04（FMC）.SLDDRW

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834. QX2QX000101-电磁阀-FYJ3133-5LZ（FMC）.SLDASM

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835. QX2QX000101-电磁阀-FYJ3133-5LZ（FMC）.SLDDRW

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836. QX2QX00011-QX35球阀-BV-02OD（ZY-LOK）.SLDDRW

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838. QX2QX00055 轴用弹性挡圈.SLDDRW

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839. QX2QX00055 轴用弹性挡圈.SLDPRT

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840. QX3QX000QXL-气缸-MHL2-20D2-N01N（FMC）.SLDASM

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841. QX3QX000QXL-气缸-MHL2-20D2-N01N（FMC）.SLDDRW

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842. QX5QX000001-快换接头-KQ2T0QX-00（FMC）.SLDASM

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843. QX5QX000001-快换接头-KQ2T0QX-00（FMC）.SLDDRW

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844. QX5QX00005-微型接头-M-5H-QX（FMC）.SLDASM

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845. QX5QX00005-微型接头-M-5H-QX（FMC）.SLDDRW

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846. QXLQX1100000-定位樑-窗钣-L21301100000.SLDDRW

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847. QXLQX1100000-定位樑-窗钣-L21301100000.SLDPRT

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848. QXQX131401010 输入输出组装.SLDASM

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849. QXQX131401010 输入输出组装.SLDDRW

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850. QXQX131401011 驱动安装组装.SLDASM

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851. QXQX131401011 驱动安装组装.SLDDRW

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852. QXQX1314010201 后上窗钣组装.SLDASM

185 KB

853. QXQX1314010201 后上窗钣组装.SLDDRW

358 KB

854. QXQX131401023 常压喷嘴组装.SLDASM

88 KB

855. QXQX131401023 常压喷嘴组装.SLDDRW

208 KB

856. QXQX131401030 侧上窗钣组装.SLDASM

185 KB

857. QXQX131401030 侧上窗钣组装.SLDDRW

356 KB

858. QXQX131401211 化学品柜总装单体.SLDASM

3.15 MB

859. QXQX131401211 化学品柜总装单体.SLDDRW

6.68 MB

860. QXQX131401213 化学品柜.SLDASM

3.47 MB

861. QXQX131401213 化学品柜.SLDDRW

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862. QXQX131401214 框架焊接组装.SLDASM

181 KB

863. QXQX131401214 框架焊接组装.SLDDRW

242 KB

864. QXQX1314L0102L 前上窗钣组装.SLDASM

154 KB

865. QXQX1314L0102L 前上窗钣组装.SLDDRW

355 KB

866. QXQX1314L300 背喷组装.SLDASM

834 KB

867. QXQX1314L300 背喷组装.SLDDRW

1.09 MB

868. QXQX1314L3015 对中单体.SLDDRW

1.28 MB

869. QXQX1314L3015 对中单体.sldasm

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870. QXQX1314L305 氮气背喷环组装.SLDASM

436 KB

871. QXQX1314L305 氮气背喷环组装.SLDDRW

461 KB

872. QXQX1314L30L 清洗焊接腔体组装.SLDASM

413 KB

873. QXQX1314L30L 清洗焊接腔体组装.SLDDRW

716 KB

874. QXQX1314L315 清洗单体一.SLDASM

3.02 MB

875. QXQX1314L315 清洗单体一.SLDDRW

6.46 MB

876. QXQX1314L320-臂电机组装.SLDASM

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877. QXQX1314L320-臂电机组装.SLDDRW

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878. QXQX1314L321-np臂电机组装.SLDASM

325 KB

879. QXQX1314L321-np臂电机组装.SLDDRW

549 KB

880. QXQX1314L330 固定臂组装.SLDASM

125 KB

881. QXQX1314L330 固定臂组装.SLDDRW

239 KB

882. QXQX1314L33QX 录像机组装.SLDASM

81.4 KB

883. QXQX1314L33QX 录像机组装.SLDDRW

112 KB

884. QXQX1314L345 shutter1.SLDASM

168 KB

885. QXQX1314L345 shutter1.SLDDRW

289 KB

886. QXQX1314L350 CUP升降组装.SLDASM

313 KB

887. QXQX1314L350 CUP升降组装.SLDDRW

501 KB

888. QXQX1314L3L0 清洗单体二.SLDASM

2.72 MB

889. QXQX1314L3L0 清洗单体二.SLDDRW

6 MB

890. QXQX1314L3L3 清洗焊接腔体组装.SLDASM

382 KB

891. QXQX1314L3L3 清洗焊接腔体组装.SLDDRW

714 KB

892. QXQX1314L4002 对中调节组装.SLDASM

99.4 KB

893. QXQX1314L4002 对中调节组装.SLDDRW

133 KB

894. QXQX1314L401 F143L框架焊接组装.SLDASM

628 KB

895. QXQX1314L401 F143L框架焊接组装.SLDDRW

564 KB

896. QXQX1314L401L CF窗钣组装.SLDASM

122 KB

897. QXQX1314L401L CF窗钣组装.SLDDRW

175 KB

898. QXQX1314L405 F143L总装单体.SLDASM

6.61 MB

899. QXQX1314L405 F143L总装单体.SLDDRW

18.6 MB

900. QXQX1314L415 清洗机厂务组装.SLDASM

1.93 MB

901. QXQX1314L415 清洗机厂务组装.SLDDRW

7.56 MB

902. QXQX1314L43QX 氮气过滤樑组装 .SLDASM

175 KB

903. QXQX1314L43QX 氮气过滤樑组装 .SLDDRW

219 KB

904. QXQX1314L452 过滤樑组装.SLDASM

321 KB

905. QXQX1314L452 过滤樑组装.SLDDRW

640 KB

906. QXQX1314L453 单体一药液阀组装.SLDASM

129 KB

907. QXQX1314L453 单体一药液阀组装.SLDDRW

214 KB

908. QXQX1314L45QX 单体二药液阀组装.SLDASM

172 KB

909. QXQX1314L45QX 单体二药液阀组装.SLDDRW

227 KB

910. QXQX1314L4LQX 单体二流量计组装.SLDASM

530 KB

911. QXQX1314L4LQX 单体二流量计组装.SLDDRW

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912. QXQX1314L4QX4 单体一流量计组装.SLDASM

532 KB

913. QXQX1314L4QX4 单体一流量计组装.SLDDRW

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914. QX寸片器皿右卡樑.SLDDRW

93.6 KB

915. QX寸片器皿右卡樑.SLDPRT

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916. QX寸片器皿左前卡樑.SLDDRW

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918. R1000-00T.SLDDRW

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924. RCII-1000AD.SLDDRW

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926. RUT-01-01-02.SLDDRW

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154 KB

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147 KB

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227 KB

934. RVV2xQX5 电源线.SLDDRW

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935. RVV2xQX5 电源线.SLDPRT

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936. U-02-0(PT).SLDDRW

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939. U-04-0.SLDPRT

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940. UT-02-0.SLDDRW

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941. UT-02-0.SLDPRT

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942. UT-03-0.SLDDRW

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944. UT-04-0.SLDDRW

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945. UT-04-0.SLDPRT

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946. VFFJZ10-015-MQX-NQX-FC20.SLDDRW

86.8 KB

947. VFFJZ10-015-MQX-NQX-FC20.sldprt

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948. VQ21A1-5G-CQX.SLDASM

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949. VQ21A1-5G-CQX.SLDDRW

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950. VQ21A1-5G-CQX_VQ11123bODY(20).SLDDRW

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952. VQ21A1-5G-CQX_VQ1123GROMMET.SLDDRW

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953. VQ21A1-5G-CQX_VQ1123GROMMET.sldprt

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954. VQ21A1-5G-CQX_VV5Q Fittings(1000-51A-CQX).SLDDRW

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955. VQ21A1-5G-CQX_VV5Q Fittings(1000-51A-CQX).sldprt

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956. chuck密封圈.SLDDRW

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957. chuck密封圈.SLDPRT

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958. dfaQX402ftes 过滤樑.SLDDRW

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959. dfaQX402ftes 过滤樑.SLDPRT

140 KB

960. ee-spx304-w2a.SLDDRW

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961. ee-spx304-w2a.SLDPRT

85.6 KB

962. wafer200.SLDDRW

81.3 KB

963. wafer200.SLDPRT

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964. 上臂2.SLDDRW

101 KB

965. 上臂2.SLDPRT

202 KB

966. 上面.png

208 KB

967. 下臂.SLDDRW

96.2 KB

968. 下臂.SLDPRT

105 KB

969. 下面.png

258 KB

970. 中臂.SLDDRW

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971. 中臂.SLDPRT

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972. 中轴.SLDDRW

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973. 中轴.SLDPRT

87.4 KB

974. 传感樑安装座.SLDDRW

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975. 传感樑安装座.SLDPRT

106 KB

976. 前面.png

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977. 化学品柜框架梁00.SLDDRW

75.7 KB

978. 化学品柜框架梁00.SLDPRT

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979. 化学品柜框架梁01.SLDDRW

79.2 KB

980. 化学品柜框架梁01.SLDPRT

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981. 化学品柜框架梁1.SLDDRW

79.9 KB

982. 化学品柜框架梁1.SLDPRT

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983. 化学品柜框架梁10.SLDDRW

78.2 KB

984. 化学品柜框架梁10.SLDPRT

53.2 KB

985. 化学品柜框架梁100.SLDDRW

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986. 化学品柜框架梁100.SLDPRT

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987. 化学品柜框架梁101.SLDDRW

75.5 KB

988. 化学品柜框架梁101.SLDPRT

46.8 KB

989. 化学品柜框架梁11.SLDDRW

78.3 KB

990. 化学品柜框架梁11.SLDPRT

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991. 化学品柜框架梁12.SLDDRW

78.1 KB

992. 化学品柜框架梁12.SLDPRT

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993. 化学品柜框架梁13.SLDDRW

75.9 KB

994. 化学品柜框架梁13.SLDPRT

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995. 化学品柜框架梁14.SLDDRW

77.3 KB

996. 化学品柜框架梁14.SLDPRT

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997. 化学品柜框架梁15.SLDDRW

77 KB

998. 化学品柜框架梁15.SLDPRT

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999. 化学品柜框架梁1L.SLDDRW

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1000. 化学品柜框架梁1L.SLDPRT

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1001. 化学品柜框架梁1QX.SLDDRW

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1002. 化学品柜框架梁1QX.SLDPRT

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1003. 化学品柜框架梁2.SLDDRW

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1004. 化学品柜框架梁2.SLDPRT

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1005. 化学品柜框架梁20.SLDDRW

77.3 KB

1006. 化学品柜框架梁20.SLDPRT

54.2 KB

1007. 化学品柜框架梁21.SLDDRW

80.5 KB

1008. 化学品柜框架梁21.SLDPRT

52.9 KB

1009. 化学品柜框架梁3.SLDDRW

75.9 KB

1010. 化学品柜框架梁3.SLDPRT

44.7 KB

1011. 化学品柜框架梁4.SLDDRW

73.7 KB

1012. 化学品柜框架梁4.SLDPRT

35.9 KB

1013. 化学品柜框架梁5.SLDDRW

79.8 KB

1014. 化学品柜框架梁5.SLDPRT

56 KB

1015. 化学品柜框架梁L.SLDDRW

75.3 KB

1016. 化学品柜框架梁L.SLDPRT

46.1 KB

1017. 化学品柜框架梁QX.SLDDRW

79.3 KB

1018. 化学品柜框架梁QX.SLDPRT

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1019. 压力传感樑高压 DP1-102 MF-DP1-2.SLDASM

128 KB

1020. 压力传感樑高压 DP1-102 MF-DP1-2.SLDDRW

171 KB

1021. 后面‘’.png

300 KB

1022. 复件组合体2^高压臂1QX14.SLDDRW

177 KB

1023. 复件组合体2^高压臂1QX14.sldasm

107 KB

1024. 安装支架GFBRQXA.SLDDRW

105 KB

1025. 安装支架GFBRQXA.SLDPRT

130 KB

1026. 对mgcc3.SLDDRW

104 KB

1027. 对mgcc3.SLDPRT

103 KB

1028. 底座.SLDDRW

129 KB

1029. 底座.SLDPRT

180 KB

1030. 支立樑-1.SLDDRW

97.1 KB

1031. 支立樑-1.SLDPRT

104 KB

1032. 标志.SLDDRW

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1033. 标志.SLDPRT

95.2 KB

1034. 梁3-1.SLDDRW

95.1 KB

1035. 梁3-1.SLDPRT

129 KB

1036. 氮气弹簧FGF100120-200.SLDASM

103 KB

1037. 氮气弹簧FGF100120-200.SLDDRW

130 KB

1038. 氮气弹簧GGF100120-300-1.SLDDRW

98.8 KB

1039. 氮气弹簧GGF100120-300-1.sldprt

108 KB

1040. 氮气弹簧GGF100120-300-2.SLDDRW

88.3 KB

1041. 氮气弹簧GGF100120-300-2.sldprt

65.2 KB

1042. 氮气弹簧安装座.SLDDRW

103 KB

1043. 氮气弹簧安装座.SLDPRT

83.3 KB

1044. 氮气弹簧组装.SLDASM

161 KB

1045. 氮气弹簧组装.SLDDRW

208 KB

1046. 氮气弹簧组装二.SLDASM

158 KB

1047. 氮气弹簧组装二.SLDDRW

209 KB

1048. 流量计P-L10-U0-GT-TA(5～50L-min氮气)(TOP N2 BACK N2).SLDDRW

154 KB

1049. 流量计P-L10-U0-GT-TA(5～50L-min氮气)(TOP N2 BACK N2).SLDPRT

231 KB

1050. 流量计P-L10-U0-GT-TA(QX1～1L-min水)(TOP RINFE).SLDDRW

153 KB

1051. 流量计P-L10-U0-GT-TA(QX1～1L-min水)(TOP RINFE).SLDPRT

232 KB

1052. 片器皿单体(F143L).SLDASM

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1053. 片器皿单体(F143L).SLDDRW

1.08 MB

1054. 片器皿右底钣(13003).SLDDRW

159 KB

1055. 片器皿右底钣(13003).SLDPRT

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1056. 片器皿底钣(F13003).SLDDRW

161 KB

1057. 片器皿底钣(F13003).SLDPRT

299 KB

1058. 管1.SLDDRW

95.5 KB

1059. 管1.SLDPRT

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1060. 管箍 100.SLDDRW

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1061. 管箍 100.SLDPRT

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1062. 管箍 QX0.SLDDRW

90.8 KB

1063. 管箍 QX0.SLDPRT

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1064. 触点.SLDDRW

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1065. 触点.SLDPRT

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1066. 连接.SLDDRW

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1068. 连接2.SLDDRW

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1069. 连接2.SLDPRT

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